仪器共享-省部共建动态测试技术国家重点实验室

实验室目前已拥有国内一流的MEMS加工工艺线，包括光刻机、晶圆键合机、喷胶机、离子去胶机、匀胶热板机、薄膜工艺体系、磁控溅射镀膜设备、等离子体增强化学气相沉积仪、纳米团簇沉积仪、Parylene真空气相淀积仪、原子层沉积机、氧化扩散炉、刻蚀工艺体系、感应耦合等离子（ICP）刻蚀机、深硅刻蚀机、反应离子刻蚀机、纳米压印仪、紫外激光精细微加工设备、化学机械减薄抛光系统设备、划片机、测试封装体系、台阶仪、半导体参数分析仪、常温探针台、高低温探针台、激光共聚焦显微镜、场发射扫描电子显微镜（SEM）等大型仪器设备。

为充分发挥仪器设备的作用，实验室的主要常用的设备集中安装在公用实验室内，大型仪器设备由专人操作，目前已经对外部人员开放，服务于国内其他高校和企业。对于所有大型设备均由专人管理，对设备进行日常保养及操作人员培训。每个大型设备均有独立的设备档案，记录设备的状态以及使用情况。实验室严格按照“实验室仪器设备管理办法”执行，以保证设备的完好、共享和对外开放。