耐高温压力传感器件设计、制造及其测试系统关键技术研究-省部共建动态测试技术国家重点实验室

该成果于2021年获得山西省科技进步一等奖，由熊继军教授、谭秋林教授等完成。

该成果面向复杂工况环境下高温压力传感器测试需求，提出了基于跨尺度微纳工艺的高精度SOI压阻、大量程光纤法珀以及超高温陶瓷等一系列耐高温压力传感器，为不同环境下压力参数原位测试需求提供解决方案，解决了不同高温环境下一系列卡脖子技术难题，并获得自主知识产权。突破了：1）SOI基压阻式高温压力传感器件集成制造技术及温度补偿；2）光纤法珀高温压力传感器件微型化制造技术及温度解耦；3）L/HTCC超高温压力传感器件集成制造技术及温度解耦算法；4）建立了模拟工况环境的超高温温/压复合标校平台及方法。